空氣過濾器分級(jí)誕生：隨著微電子工業(yè)的發(fā)展,對(duì)空氣過濾器特別是高效過濾器的要求越來越嚴(yán),德國標(biāo)準(zhǔn)DIN24183率先提出"最容易穿透粒徑"(Most Penetrating Particle Size,簡(jiǎn)稱MPPS)法,并采用最容易穿透粒徑來檢測(cè)空氣過濾器的效率.其實(shí)不同的濾料和不同的濾速最容易穿透粒徑是不同的,一般在0.11um-0.25um范圍內(nèi).然后以此粒徑測(cè)試其效率或用于掃描實(shí)驗(yàn)。

MPPS是目前最嚴(yán)格的試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn),具體測(cè)試一般采用DOP方法. DOP(鄰苯二甲二辛酯)法:實(shí)驗(yàn)塵源為0.3um單分散相DOP液滴,測(cè)量粉塵儀器為光度計(jì),以氣樣的濁度差別來判定過濾器對(duì)DOP顆粒的過濾效率.目前逐步采用大流量激光粒子計(jì)數(shù)器或凝結(jié)核計(jì)數(shù)器對(duì)過濾器整個(gè)出風(fēng)面進(jìn)行掃描檢驗(yàn)。